井式退火炉旋转密封用什么密封

井式退火炉旋转密封用什么密封

坩埚升降机构：坩埚升降机构的垂直运动采用双导柱直线轴承结构。稀土永磁直流电机组通过齿带和谐波减速器驱动滚珠丝杠副完成，使坩埚杆、双导柱和滚动丝杠的布置合理，使传动部件的刚度好，传动稳定准确。退火炉坩埚旋转电机也采用稀土永磁直流电机组。采用多楔带传动实现坩埚旋转，传动扭矩大，减少了齿带振动，提了传动稳定性。旋转密封采用磁流体密封，垂直运动密封采用不锈钢波纹管。光电编码器与坩埚升降螺杆同轴安装，准确显示坩埚位置。

晶种升降机构：晶种升降机构设有软轴升降机构，可水平随动。稀土永磁直流电机通过减速比大的精密减速器驱动滚动花键副，实现软轴提升机的水平随动和旋转提升运动。设置螺旋轮水平随动限位功能，调整晶种升降范围，限制晶种升降机构的保护限位。整个起升机构采用空心轴旋转，机构平衡调整，免起升机构运动时产生振动。与起升轮同轴安装精密光电编码器，为计算机提供的起升值，实现控制。旋转电机通过多楔带旋转，旋转密封采用磁流体密封。优化后的刷组件安装在种晶旋转轴承的外侧，便于安装调试。新刷架的碳刷具有弹性补偿功能，证信号的传输。

2019-01-04