微波加热式渗碳炉的设计

　　当前我国渗碳炉通常是采用的传统形式，炉内大部分通入了丙烷或是乙烯，而后通过电阻加热的方式进行升温。一般温度在880℃～930℃，因电阻炉升温的速度较慢，且丙烷与乙烯加热后分解出的游离碳原子较少，渗碳的时间通常深度在1mm，需要8小时以上，故效率低。

　　一种新渗碳炉是将电阻加热的元件改成为微波加热的形式，即在等离子电源下向炉内通入隋性气体氩气作为介质。通过点火装置，激发了等离子使得炉内速度升温，当工件达到930℃时，向炉内冲入乙炔气体，调节微波功率把温度保持在固定水平。因乙炔在等离子里面易于裂解，且有着高于其它渗碳气体一倍的游离碳原子，故渗碳速度大大加快，加上微波升温速度的加快，故该设备大大增进了生产功率。

　　用普通真空渗碳炉，将加热室改造为微波加热的方式，加热部分由离子发生器，等离子发生电源，坩埚等组成，靠控制微波能量来控制渗碳所需的温度。炉体外部有一套冲气系统并配有流量计进行流量控制和脉充频率控制。依据工件渗碳层的深度来控制乙炔的量及脉充次数。从而来达到所需渗碳层深度的目的。